定子鐵芯由硅鋼片疊成。轉子由硅鋼片或其他軟磁材料制成,均勻分布有齒,齒數為z。

轉子沒有繞組。

當z=4時,三相反應式步進電動機原理。設A相通電時,齒1、3與A-Au對齊,當采用三相單二拍通電方式,即采用A-B-C-A通電方式時,每輸入一個脈沖,轉子順時針方向轉過30°角,完成三拍轉子轉過一個齒距角α=為手=9u。

如果改為三相雙三拍通電方式,即采用AB-BC-CA-AB通電方式,同樣每輸入一個脈沖,轉子順時針轉過30°角,完成三拍轉子轉過90°角。

設備采用的模塊化設計，可支持不同脈寬(納秒、皮秒、飛秒)激光器。自主研發的光學系統，可實現光斑寬度及長度連續可調，配合超高精度運動控制平臺等技術.

與激光隱切設備完美結合、相輔相成，解決了激光隱切設備對表面材質、厚度、晶向、電阻率的限制，真正實現了工藝的全兼容，對有效控制產品破損率、提高芯片良率有著極大幫助。

FF0~F2中除FF1的J端與FF3的Q端連接外,其余輸入端土射妾邏輯1電平。

由JK觸發器組成的四位同步二進制可逆計數器邏輯圖。該計數器的邏輯功能為:當控制信號(遞增/遞減選擇)X=1時,進行遞增計數;當Ⅹ=0時,則進行遞減計數。